客製化設計

• 客製化全自動300mm晶圓設備前端模組，可儲存多達16 FOUP
• FOUP存放系統採用先進機器人整合於技術中，能高速並可靠地取放FOUP
• N2/XCDA Purge系統，可選配，應用在FOUP儲位
• 支援SECS/GEM通訊協定與人性化GUI操作介面
• 內部建有攝影監視器系統