300 mm 晶圓設備前端模組

• 設備可與 OHT 與 AGV 連線作業
• 晶圓傳送固定方式，基本有真空吸附或邊緣夾持方式
• 可支援 2~4 Ports 之設備設計
• 完整的記錄數據，可滿足工業 4.0 下之預測性維護
• 客製化服務，提供訂製規格商討