3 軸圓柱座標型關節式真空機器人
- 全軸採用閉迴路 AC 伺服馬達驅動並裝配高解析絕對值編碼器
- 使用磁流體與波紋管密封
- 薄型上臂輕量且適用於夾窄閘門進出
- 旋轉範圍 360° 以上無死角
- 可選配AWC功能，Wafer偏差自動校正
2 軸圓柱座標型關節式高荷重真空機器人
- 全軸採用閉迴路 AC 伺服馬達驅動並裝配高解析絕對值編碼器
- 使用磁流體密封
- 高荷重，第三關節承重可達 12 Kgf
- 可選配AWC功能，Wafer偏差自動校正
4 軸圓柱座標型連桿式真空機器人
- 特殊DD馬達結構設計，無旋轉密封裝置，無旋轉洩漏問題
- 驅動器內建，無須電控箱
- 可選配AWC功能，Wafer偏差自動校正
- 可選配中繼點功能，解決圓柱座標移動時與腔體內壁微干涉問題
- 特殊連桿設計，使雙馬達即可完成R軸、L軸、Ɵ軸動作
