多功能 省空間

• 內建多種通訊介面: RS232 、 Ethernet、Parallel IO、 SECS I/ II，均可選配
• 內建晶圓 Mapping 與晶圓突出檢知
• 易於安裝、操作與維護
• 選配轉接盤，可對應 Open Cassette

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