對應 Cassette 取放功能

• 內建多種通訊介面:  RS232 、Ethernet 、Parallel IO 、SECS I/II ，均可選配
• 內建晶圓 Mapping 與晶圓突出檢知
• 易於安裝 、操作與維護
• 選配轉接盤，可對應 Open Cassette

 

 

► 產品詳情