客製化設計

• 客製化全自動300mm晶圓FOUP儲存設備，可儲存多達26 FOUP
• FOUP存放系統採用先進機器人技術以及整合多種運動和控制軟件技術，實現完全自動化FOUP存放，檢索和跟蹤合作
• 配合Camera及手操器的應用，實現可機外Teaching的功能
• N2/XCDA Purge循環模式