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State of the art
Mini Foup Stocker System

供應情形: 有現貨

型號: Mini

客製化設計
  • 客製化全自動 300mm 晶圓 FOUP 儲存設備,可儲存多達 26 個 FOUP
  • FOUP 存放系統採用先進機器人技術以及整合多種運動和控制軟件技術,實現完全自動化 FOUP 存放,檢索和跟蹤合作
  • 配合監視器及手操器的應用,實現可機外 Teaching 的功能
  • N2/XCDA Purge 循環模式 
產品詳情