客製化設計

• 本系統為將Cassette 內之Wafer 搬送到Shipping box 之全自動搬運系統。
• 由Cassette 取出Wafer，翻轉後置入Shipping Box。全程動作由特製Robot 完成，無需其他機構。
• Separate film 缺料檢知功能
• Wafer holding 採Non-contact endeffector