客製化設計

• 客製化全自動 300mm 晶圓設備前端模組，可儲存多達 16 個 FOUP
• FOUP 存放系統採用先進機器人整合於技術中，能高速並可靠地取放 FOUP
• N2/XCDA Purge 系統(選配)，應用在 FOUP 儲位
• 支援 SECS/GEM 通訊協定與人性化 GUI 操作介面
• 內部建有攝影監視器系統

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