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State of the art
DLR-S211V00 Series

供應情形: 有現貨

型號: A200mm

穩定 高速
  • 同時對應 8" & 12" 晶圓的傳送
  • 內部微環境的潔淨度控制,採以 CFD 流體分析驗證,並確保內外壓差之設計,使 Wafer 傳送過程不受汙染
  • 最佳化的 Robot 運動軌跡,以最短路徑加上曲線補間達到快速穩定的傳送
  • 超高速的晶圓定位器,利用動態影像精準演算、快速定位出晶圓中心與方向
  • 完整的記錄數據,可滿足工業 4.0 之預測性維護 
產品詳情