穩定 高速

• 內部微環境的潔淨度控制，採以CFD流體分析驗證，並確保內外壓差之設計，使Wafer傳送過程不受汙染
• 最佳化的Robot+I30:I31方向
• 完整的紀錄數據，可滿足工業4.0下之預測性維護