關閉
State of the art
DLR-F410V10 Series

供應情形: 有現貨

型號: DLR

穩定 高速
  • 4Port SMIF POD對應之全自動傳送系統.
  • 晶圓傳送固定方式,依客戶需求可選擇真吸附或邊緣夾持方式
  • 內部微環境的潔淨度控制,採以CFD流體分析驗證,並確保內外壓差之設計,使Wafer傳送過程不受汙染
  • 最佳化的Robot運動軌跡,以最短路徑加上曲線補間達到快速穩定的傳送
  • 完整的紀錄數據,可滿足工業4.0下之預測性維護