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State of the art
DLR-F211V10 Series

供應情形: 有現貨

型號: B300

穩定 高速
  • 晶圓傳送固定方式,依客戶需求可選擇真空吸附或邊緣夾持方式
  • 內部微環境的潔淨度控制,採以 CFD 流體分析驗證,並確保內外壓差之設計,使 Wafer 傳送過程不受汙染
  • 最佳化的 Robot 運動軌跡,以最短路徑加上曲線補間達到快速穩定的傳送
  • 完整的紀錄數據,可滿足工業 4.0 之預測性維護
 
產品詳情