高速定位 對應薄片

• 採用高解析度 Line CCD 光學辨位系統
• 獨創的演算法，快速推算出定位
• 對應透明、超厚、超薄、翹曲晶圓工件
• 優秀的感測能力，支援具 Notch、平邊、雙平邊工件

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