高衝程省空間

• 極薄的壁掛基座，設備應用容易
• 採底部夾持 FOUP
• Z軸行程高，具水平前後位置 3 列 6 個 FOUP 傳送功能
• 針對垂直陣列擺放之 FOUP，搬送速度世界第一

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