單次25片高效能傳送

• 高剛性、高負載、達成25片晶圓的批次傳送
• 經由獨特夾持裝置與最佳化移動速度達到穩定地傳遞晶圓
• 兼具髒污與潔淨物件隔離傳送，可依不同的接觸區域來隔離製程前及後的髒污與潔淨之晶圓
• 適用於高潔度環境

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